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アイテム
Effects of substrate temperature on structure and mechanical properties of sputter deposited fluorocarbon thin films
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/8469
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/8469767ce7ae-602d-4762-be2a-6ba162a5511e
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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![]() |
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Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||||||
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公開日 | 2016-09-08 | |||||||||||||
タイトル | ||||||||||||||
タイトル | Effects of substrate temperature on structure and mechanical properties of sputter deposited fluorocarbon thin films | |||||||||||||
言語 | en | |||||||||||||
言語 | ||||||||||||||
言語 | eng | |||||||||||||
キーワード | ||||||||||||||
主題Scheme | Other | |||||||||||||
主題 | Rf sputtering | |||||||||||||
キーワード | ||||||||||||||
主題Scheme | Other | |||||||||||||
主題 | Thin film | |||||||||||||
キーワード | ||||||||||||||
主題Scheme | Other | |||||||||||||
主題 | PTFE | |||||||||||||
キーワード | ||||||||||||||
主題Scheme | Other | |||||||||||||
主題 | Fluorocarbon | |||||||||||||
キーワード | ||||||||||||||
主題Scheme | Other | |||||||||||||
主題 | Adhesion strength | |||||||||||||
資源タイプ | ||||||||||||||
資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||
タイプ | journal article | |||||||||||||
アクセス権 | ||||||||||||||
アクセス権 | open access | |||||||||||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||||
著者 |
Suzuki, Yuta
× Suzuki, Yuta
× Fu, Haojie
× Abe, Yoshio
× Kawamura, Midori
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著者別名 | ||||||||||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||||||||||
識別子 | 44879 | |||||||||||||
識別子Scheme | KAKEN | |||||||||||||
識別子URI | https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020261399 | |||||||||||||
識別子 | 20261399 | |||||||||||||
姓名 | 阿部, 良夫 | |||||||||||||
言語 | ja | |||||||||||||
著者別名 | ||||||||||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||||||||||
識別子 | 44880 | |||||||||||||
識別子Scheme | KAKEN | |||||||||||||
識別子URI | https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070261401 | |||||||||||||
識別子 | 70261401 | |||||||||||||
姓名 | 川村, みどり | |||||||||||||
言語 | ja | |||||||||||||
抄録 | ||||||||||||||
内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||
内容記述 | Fluorocarbon thin films were formed by radio-frequency magnetron sputtering using a polytetrafluoroethylene target with different substrate temperatures in the range −5 to 200 °C. Using X-ray diffraction and Fourier transform infrared spectroscopy, it was confirmed that the films were amorphous and contained C–F bonds. X-ray photoelectron spectroscopy measurements indicated that the amount of cross-linking in the films increased with increasing substrate temperature. Corresponding to the change in the molecular structure, the adhesion strength of the films to the Si substrate, estimated by micro-scratch testing, improved with increasing substrate temperature. | |||||||||||||
書誌情報 |
en : Vacuum 巻 87, p. 218-221, 発行日 2013-01 |
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DOI | ||||||||||||||
識別子タイプ | DOI | |||||||||||||
関連識別子 | https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2012.05.029 | |||||||||||||
権利 | ||||||||||||||
権利情報 | c 2012 Elsevier | |||||||||||||
出版者 | ||||||||||||||
出版者 | Elsevier | |||||||||||||
著者版フラグ | ||||||||||||||
言語 | en | |||||||||||||
値 | author | |||||||||||||
出版タイプ | ||||||||||||||
出版タイプ | AM | |||||||||||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa |