| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2016-09-08 |
| タイトル |
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タイトル |
Effects of substrate temperature on structure and mechanical properties of sputter deposited fluorocarbon thin films |
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言語 |
en |
| 言語 |
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言語 |
eng |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Rf sputtering |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Thin film |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
PTFE |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Fluorocarbon |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Adhesion strength |
| 資源タイプ |
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資源 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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タイプ |
journal article |
| アクセス権 |
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アクセス権 |
open access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 |
| 著者 |
Suzuki, Yuta
Fu, Haojie
Abe, Yoshio
Kawamura, Midori
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| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
44879 |
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識別子Scheme |
KAKEN |
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識別子URI |
https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020261399 |
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識別子 |
20261399 |
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姓名 |
阿部, 良夫 |
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言語 |
ja |
| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
44880 |
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識別子Scheme |
KAKEN |
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識別子URI |
https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070261401 |
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識別子 |
70261401 |
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姓名 |
川村, みどり |
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言語 |
ja |
| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
Fluorocarbon thin films were formed by radio-frequency magnetron sputtering using a polytetrafluoroethylene target with different substrate temperatures in the range −5 to 200 °C. Using X-ray diffraction and Fourier transform infrared spectroscopy, it was confirmed that the films were amorphous and contained C–F bonds. X-ray photoelectron spectroscopy measurements indicated that the amount of cross-linking in the films increased with increasing substrate temperature. Corresponding to the change in the molecular structure, the adhesion strength of the films to the Si substrate, estimated by micro-scratch testing, improved with increasing substrate temperature. |
| 書誌情報 |
en : Vacuum
巻 87,
p. 218-221,
発行日 2013-01
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| DOI |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2012.05.029 |
| 権利 |
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権利情報 |
c 2012 Elsevier |
| 出版者 |
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出版者 |
Elsevier |
| 著者版フラグ |
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言語 |
en |
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値 |
author |
| 出版タイプ |
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出版タイプ |
AM |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa |
No_8_Vacuum_87_218.pdf (2.2 MB)
