WEKO3
アイテム
Effects of substrate temperature on structure and mechanical properties of sputter deposited fluorocarbon thin films
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/8469
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/8469767ce7ae-602d-4762-be2a-6ba162a5511e
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
No_8_Vacuum_87_218.pdf (2.2 MB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2016-09-08 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Effects of substrate temperature on structure and mechanical properties of sputter deposited fluorocarbon thin films | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Rf sputtering | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Thin film | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | PTFE | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Fluorocarbon | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Adhesion strength | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
| 著者 |
Suzuki, Yuta
× Suzuki, Yuta× Fu, Haojie× Abe, Yoshio× Kawamura, Midori |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 44879 | |||||
| 識別子Scheme | KAKEN | |||||
| 識別子URI | https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020261399 | |||||
| 識別子 | 20261399 | |||||
| 姓名 | 阿部, 良夫 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 44880 | |||||
| 識別子Scheme | KAKEN | |||||
| 識別子URI | https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070261401 | |||||
| 識別子 | 70261401 | |||||
| 姓名 | 川村, みどり | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Fluorocarbon thin films were formed by radio-frequency magnetron sputtering using a polytetrafluoroethylene target with different substrate temperatures in the range −5 to 200 °C. Using X-ray diffraction and Fourier transform infrared spectroscopy, it was confirmed that the films were amorphous and contained C–F bonds. X-ray photoelectron spectroscopy measurements indicated that the amount of cross-linking in the films increased with increasing substrate temperature. Corresponding to the change in the molecular structure, the adhesion strength of the films to the Si substrate, estimated by micro-scratch testing, improved with increasing substrate temperature. | |||||
| 書誌情報 |
en : Vacuum 巻 87, p. 218-221, 発行日 2013-01 |
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| DOI | ||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2012.05.029 | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | c 2012 Elsevier | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | Elsevier | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 値 | author | |||||
| 出版タイプ | ||||||
| 出版タイプ | AM | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||
