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アイテム
反応性スパッタリング法による導電性Rh酸化物薄膜の作成とその物性
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/7446
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/7446634bdb1a-bdc8-4f32-bdd8-9fe9cf13d560
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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反応性スパッタリング法による導電性Rh酸化物薄膜の作成とその物性 (449.0 kB)
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| Item type | 研究報告書 / Research Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2010-03-10 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 反応性スパッタリング法による導電性Rh酸化物薄膜の作成とその物性 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||
| 資源タイプ | research report | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
| 著者 |
阿部, 良夫
× 阿部, 良夫× 佐々木, 克孝× 川村, みどり× 加藤, 清彦× Abe, Yoshio× Sasaki, Katsutaka× Kawamura, Midori× Kato, Kiyohiko |
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| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 研究代表者 阿部 良夫 // 科学研究費補助金(基礎研究C)研究成果報告書 // 平成11～12年度 // 研究課題番号：11650311 // 資料ID:00008663755 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 書誌情報 |
発行日 2001-03 |
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| フォーマット | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 値 | publisher | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 北見工業大学 | |||||
