@techreport{oai:kitami-it.repo.nii.ac.jp:00007446, author = {阿部, 良夫 and 佐々木, 克孝 and 川村, みどり and 加藤, 清彦 and Abe, Yoshio and Sasaki, Katsutaka and Kawamura, Midori and Kato, Kiyohiko}, month = {Mar}, note = {application/pdf, 研究代表者 阿部 良夫 // 科学研究費補助金(基礎研究C)研究成果報告書 // 平成11~12年度 // 研究課題番号:11650311 // 資料ID:00008663755}, title = {反応性スパッタリング法による導電性Rh酸化物薄膜の作成とその物性}, year = {2001} }