WEKO3
アイテム
Aｌ3Ta陽極酸化膜キャパシタの作製とその耐熱性
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/7414
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/74149daabe7b-2887-453c-aaf0-19905dce3314
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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8663743-6.pdf (225.0 kB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||||||
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| 公開日 | 2010-02-26 | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | Aｌ3Ta陽極酸化膜キャパシタの作製とその耐熱性 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | Preparation of Al3Ta Anodized Thin Film Capacitor and Its Heat-Proof Property | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | Al3Ta金属間化合物膜 | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | 陽極酸化膜キャパシタ | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | 容量 | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | 耐熱性 | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||
| タイプ | journal article | |||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||||
| 著者 |
田邊, 彩
× 田邊, 彩
× 山根, 美佐雄
× 佐々木, 克孝
× 阿部, 良夫
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| 著者別名 | ||||||||||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||||||||||
| 識別子 | 37967 | |||||||||||||
| 姓名 | Tanabe, Aya | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 著者別名 | ||||||||||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||||||||||
| 識別子 | 37968 | |||||||||||||
| 姓名 | Yamane, Misao | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 著者別名 | ||||||||||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||||||||||
| 識別子 | 37969 | |||||||||||||
| 姓名 | Sasaki, Katsutaka | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 著者別名 | ||||||||||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||||||||||
| 識別子 | 37970 | |||||||||||||
| 姓名 | Abe, Yoshio | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 抄録 | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||
| 内容記述 | 容量の低減を伴わずTa陽極酸化膜キャパシタの耐熱性を改善するため，Al3Ta金属間化合物膜を作製し，その陽極酸化膜キャパシタの耐熱性を評価した。その結果，容量の低減をTaの値の2割程度までに抑制したまま，Ta2N陽極酸化膜キャパシタに次ぐ，高耐熱な薄膜キャパシタとなることがわかった。 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 内容記述 | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||
| 内容記述 | Copyright (c) by IEICE 許諾番号：09RC0077 IEICE Transactions Online : http://search.ieice.org/index.html |
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| 言語 | ja | |||||||||||||
| 書誌情報 |
電子情報通信学会論文誌 巻 J83-C, 号 10, p. 972-974, 発行日 2000-10 |
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| フォーマット | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||
| 出版者 | 社団法人 電子情報通信学会 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 値 | publisher | |||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||
