WEKO3
アイテム
低化成電圧で作製したAl3Hｆ陽極酸化膜キャパシタの熱劣化機構
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/7412
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/74127f5b06f2-cc58-456f-af08-97c2281a9b11
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
8663743-2.pdf (221.9 kB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2010-02-26 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 低化成電圧で作製したAl3Hｆ陽極酸化膜キャパシタの熱劣化機構 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Thermal Degradation Mechanism of Al3Hf Anodized Thin Film Capacitors Prepared at Low Anodization Voltage | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | ja | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Al3Hf陽極酸化膜/高信頼性薄膜キャパシタ | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | ja | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 高信頼性薄膜キャパシタ/高耐熱性 | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | ja | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 高耐熱性 | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | ja | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | オージェ電子分光分析 | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | ja | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Al3Hf金属間化合物 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
| 著者 |
尾関, 雅彦
× 尾関, 雅彦× 山根, 美佐雄× 佐々木, 克孝× 阿部, 良夫× 柳沢, 英人× 川村, みどり |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 37945 | |||||
| 姓名 | Ozeki, Masahiko | |||||
| 言語 | en | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 37946 | |||||
| 姓名 | Yamane, Misao | |||||
| 言語 | en | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 37947 | |||||
| 姓名 | Sasaki, Katsutaka | |||||
| 言語 | en | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 37948 | |||||
| 姓名 | Abe, Yoshio | |||||
| 言語 | en | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 37949 | |||||
| 姓名 | Yanagisawa, Hideto | |||||
| 言語 | en | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 37950 | |||||
| 姓名 | Kawamura, Midori | |||||
| 言語 | en | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 30V化成したAl3Hf陽極酸化膜キャパシタの，熱劣化の原因をオージェ電子分光分析によって検討した。その結果，Al上部電極／陽極酸化膜界面が崩壊することにより，金属状態のAlが陽極酸化膜中でわずかにつながった状態になるために，キャパシタが短絡することがわかった。 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Copyright (c) by IEICE 許諾番号：09RC0079 IEICE Transactions Online : http://search.ieice.org/index.html |
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| 言語 | ja | |||||
| 書誌情報 |
電子情報通信学会論文誌 巻 J83-C, 号 7, p. 663-665, 発行日 2000-07 |
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| フォーマット | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 社団法人 電子情報通信学会 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 値 | publisher | |||||
| 出版タイプ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
