| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2010-02-26 |
| タイトル |
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タイトル |
低化成電圧で作製したAl3Hｆ陽極酸化膜キャパシタの熱劣化機構 |
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言語 |
ja |
| タイトル |
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タイトル |
Thermal Degradation Mechanism of Al3Hf Anodized Thin Film Capacitors Prepared at Low Anodization Voltage |
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言語 |
en |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| キーワード |
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言語 |
ja |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Al3Hf陽極酸化膜/高信頼性薄膜キャパシタ |
| キーワード |
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言語 |
ja |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
高信頼性薄膜キャパシタ/高耐熱性 |
| キーワード |
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言語 |
ja |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
高耐熱性 |
| キーワード |
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言語 |
ja |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
オージェ電子分光分析 |
| キーワード |
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言語 |
ja |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Al3Hf金属間化合物 |
| 資源タイプ |
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資源 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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タイプ |
journal article |
| アクセス権 |
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アクセス権 |
open access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 |
| 著者 |
尾関, 雅彦
山根, 美佐雄
佐々木, 克孝
阿部, 良夫
柳沢, 英人
川村, みどり
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| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
37945 |
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姓名 |
Ozeki, Masahiko |
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言語 |
en |
| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
37946 |
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姓名 |
Yamane, Misao |
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言語 |
en |
| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
37947 |
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姓名 |
Sasaki, Katsutaka |
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言語 |
en |
| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
37948 |
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姓名 |
Abe, Yoshio |
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言語 |
en |
| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
37949 |
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姓名 |
Yanagisawa, Hideto |
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言語 |
en |
| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
37950 |
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姓名 |
Kawamura, Midori |
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言語 |
en |
| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
30V化成したAl3Hf陽極酸化膜キャパシタの，熱劣化の原因をオージェ電子分光分析によって検討した。その結果，Al上部電極／陽極酸化膜界面が崩壊することにより，金属状態のAlが陽極酸化膜中でわずかにつながった状態になるために，キャパシタが短絡することがわかった。 |
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言語 |
ja |
| 内容記述 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
Copyright (c) by IEICE
許諾番号：09RC0079
IEICE Transactions Online :
http://search.ieice.org/index.html |
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言語 |
ja |
| 書誌情報 |
電子情報通信学会論文誌
巻 J83-C,
号 7,
p. 663-665,
発行日 2000-07
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| フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
| 出版者 |
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出版者 |
社団法人 電子情報通信学会 |
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言語 |
ja |
| 著者版フラグ |
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言語 |
en |
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値 |
publisher |
| 出版タイプ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
8663743-2.pdf (221.9 kB)
