@article{oai:kitami-it.repo.nii.ac.jp:00007412, author = {尾関, 雅彦 and 山根, 美佐雄 and 佐々木, 克孝 and 阿部, 良夫 and 柳沢, 英人 and 川村, みどり}, issue = {7}, journal = {電子情報通信学会論文誌}, month = {Jul}, note = {30V化成したAl3Hf陽極酸化膜キャパシタの,熱劣化の原因をオージェ電子分光分析によって検討した。その結果,Al上部電極/陽極酸化膜界面が崩壊することにより,金属状態のAlが陽極酸化膜中でわずかにつながった状態になるために,キャパシタが短絡することがわかった。, Copyright (c) by IEICE 許諾番号:09RC0079 IEICE Transactions Online : http://search.ieice.org/index.html, application/pdf}, pages = {663--665}, title = {低化成電圧で作製したAl3Hf陽極酸化膜キャパシタの熱劣化機構}, volume = {J83-C}, year = {2000} }