Epitaxial growth of (111)ZrN thin films on (111)Si substrate by reactive sputtering and their surface morphologies

H., Yanagisawa; S., Shinkai; K., Sasaki; J., Sakurai; Y., Abe; A., Sakai; S., Zaima

doi:http://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2006.09.013

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Epitaxial growth of (111)ZrN thin films on (111)Si substrate by reactive sputtering and their surface morphologies

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Item type

学術雑誌論文 / Journal Article(1)

公開日

2007-05-09

タイトル

Epitaxial growth of (111)ZrN thin films on (111)Si substrate by reactive sputtering and their surface morphologies

言語

eng

資源タイプ

資源

http://purl.org/coar/resource_type/c_6501

タイプ

journal article

アクセス権

metadata only access

アクセス権URI

http://purl.org/coar/access_right/c_14cb

著者

H., Yanagisawa
S., Shinkai
K., Sasaki
J., Sakurai
Y., Abe
A., Sakai
S., Zaima

書誌情報

巻 297, 号 1, p. 80-86, 発行日 2006-12

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識別子タイプ

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Ver.1

2021-03-01 06:21:43.481061

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