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アイテム
Epitaxial growth of (111)ZrN thin films on (111)Si substrate by reactive sputtering and their surface morphologies
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/7085
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/708510a0cf64-7961-40ff-9ba2-fdacdab62fc7
Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||||||||||||
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公開日 | 2007-05-09 | |||||||||||||||||||
タイトル | ||||||||||||||||||||
タイトル | Epitaxial growth of (111)ZrN thin films on (111)Si substrate by reactive sputtering and their surface morphologies | |||||||||||||||||||
言語 | ||||||||||||||||||||
言語 | eng | |||||||||||||||||||
資源タイプ | ||||||||||||||||||||
資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||
タイプ | journal article | |||||||||||||||||||
アクセス権 | ||||||||||||||||||||
アクセス権 | metadata only access | |||||||||||||||||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||||||||||||||||
著者 |
H., Yanagisawa
× H., Yanagisawa
× S., Shinkai
× K., Sasaki
× J., Sakurai
× Y., Abe
× A., Sakai
× S., Zaima
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書誌情報 | 巻 297, 号 1, p. 80-86, 発行日 2006-12 | |||||||||||||||||||
DOI | ||||||||||||||||||||
識別子タイプ | DOI | |||||||||||||||||||
関連識別子 | http://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2006.09.013 | |||||||||||||||||||
出版者 | ||||||||||||||||||||
出版者 | Elsevier |