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アイテム
Some Observations on the Wear of Diamond Tools in Ultra-precision Cutting of Single-Crystal Silicon
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/7070
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/707097729614-c760-45e8-be96-2b892f45a5ba
| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2007-05-09 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | Some Observations on the Wear of Diamond Tools in Ultra-precision Cutting of Single-Crystal Silicon | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||
| タイプ | journal article | |||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||||||||
| 著者 |
J., Yan
× J., Yan
× K., Syoji
× J., Tamaki
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| 書誌情報 |
巻 255, 号 45850, p. 1380-1387, 発行日 2003-08 |
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| DOI | ||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||
| 関連識別子 | http://doi.org/10.1016/S0043-1648(03)00076-0 | |||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||
| 出版者 | Elsevier | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||
