WEKO3
アイテム
Chemical solution deposition of PZT/oxide electrode thin film capacitprs with preferred orientation of Si substrate
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/7012
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/7012f4dc1b0f-f78e-4f2f-a66e-b3946c761683
| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2007-05-08 | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | Chemical solution deposition of PZT/oxide electrode thin film capacitprs with preferred orientation of Si substrate | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||
| タイプ | journal article | |||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||||||||||
| 著者 |
H., Suzuki
× H., Suzuki
× Y., Miwa
× T., Ohno
× M., Fujimoto
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| 書誌情報 |
巻 301, p. 269-272, 発行日 2006-01 |
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| 出版者 | ||||||||||||||
| 出版者 | Trans Tech Publications | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||
