Chemical solution deposition of PZT/oxide electrode thin film capacitprs with preferred orientation of Si substrate

H., Suzuki; Y., Miwa; T., Ohno; M., Fujimoto

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Chemical solution deposition of PZT/oxide electrode thin film capacitprs with preferred orientation of Si substrate

https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/7012

Item type

学術雑誌論文 / Journal Article(1)

公開日

2007-05-08

タイトル

Chemical solution deposition of PZT/oxide electrode thin film capacitprs with preferred orientation of Si substrate

言語

eng

資源タイプ

資源タイプ識別子

http://purl.org/coar/resource_type/c_6501

資源タイプ

journal article

アクセス権

metadata only access

アクセス権URI

http://purl.org/coar/access_right/c_14cb

著者

H., Suzuki
Y., Miwa
T., Ohno
M., Fujimoto

書誌情報

巻 301, p. 269-272, 発行日 2006-01

出版者

Trans Tech Publications

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