Spectroscopic ellipsometry of TaN_x and VN films

J., Mistrik; K., Takahashi; R., Antos; M., Aoyama; T., Yamaguchi; Y., Anma; Y., Fukuda; M., B. Takeyama; A., Noya; Z.-T., Jiang; S., M. Thurgate; G., V. Riessen

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Spectroscopic ellipsometry of TaN_x and VN films

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Item type

学術雑誌論文 / Journal Article(1)

公開日

2007-05-08

タイトル

Spectroscopic ellipsometry of TaN_x and VN films

言語

eng

資源タイプ

資源

http://purl.org/coar/resource_type/c_6501

タイプ

journal article

アクセス権

metadata only access

アクセス権URI

http://purl.org/coar/access_right/c_14cb

著者

J., Mistrik
K., Takahashi
R., Antos
M., Aoyama
T., Yamaguchi
Y., Anma
Y., Fukuda
M., B. Takeyama
A., Noya
Z.-T., Jiang
S., M. Thurgate
G., V. Riessen

書誌情報

巻 455-456, p. 473-477, 発行日 2004-05

出版者

Elsevier

言語

出版タイプ

VoR

出版タイプResource

http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85

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Ver.1

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