WEKO3
アイテム
Spectroscopic ellipsometry of TaN_x and VN films
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/6973
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/69739c6b4a92-3060-4e32-9ba3-a6f130b5deec
Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||||||||||||||||||||||
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公開日 | 2007-05-08 | |||||||||||||||||||||||||||||
タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||
タイトル | Spectroscopic ellipsometry of TaN_x and VN films | |||||||||||||||||||||||||||||
言語 | ||||||||||||||||||||||||||||||
言語 | eng | |||||||||||||||||||||||||||||
資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||
資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||||
タイプ | journal article | |||||||||||||||||||||||||||||
アクセス権 | ||||||||||||||||||||||||||||||
アクセス権 | metadata only access | |||||||||||||||||||||||||||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||||||||||||||||||||||||||
著者 |
J., Mistrik
× J., Mistrik
× K., Takahashi
× R., Antos
× M., Aoyama
× T., Yamaguchi
× Y., Anma
× Y., Fukuda
× M., B. Takeyama
× A., Noya
× Z.-T., Jiang
× S., M. Thurgate
× G., V. Riessen
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書誌情報 | 巻 455-456, p. 473-477, 発行日 2004-05 | |||||||||||||||||||||||||||||
出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||||
出版者 | Elsevier |