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Preparation and characterization of PZT thin films on ITO/glass substrate by CSD
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/6828
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/6828797d9ad5-93e8-4763-9af7-616454c0d19c
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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4396.pdf (179.8 kB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2007-04-17 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | Preparation and characterization of PZT thin films on ITO/glass substrate by CSD | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||
| タイプ | journal article | |||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||
| 著者 |
Ohno, Tomoya
× Ohno, Tomoya
× Fujimoto, Masayuki
× Suzuki, Hisao
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| 著者別名 | ||||||||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||||||||
| 識別子 | 44884 | |||||||||||
| 識別子Scheme | KAKEN | |||||||||||
| 識別子URI | https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090397365 | |||||||||||
| 識別子 | 90397365 | |||||||||||
| 姓名 | 大野, 智也 | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| 抄録 | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||
| 内容記述 | This paper describes the deposition of PZT thin films on soda-lime glass substrate with ITO bottom electrode by CSD (Chemical Solution Deposition). The transmittance of the obtained PZT thin film on ITO/glass substrate was about 60 % in the visible light region. The deposited transparent PZT thin film exhibited the ferroelectricity of P_r = 36.3 μC/cm^2 and E_c = 71.3 kV/cm. In addition, the piezoelectric property of the resultant PZT thin film was relatively large and exhibited the measured effective d_33 of 120 pC/N after the polarization. | |||||||||||
| 書誌情報 |
Key Engineering Materials 巻 301, p. 41-44, 発行日 2006 |
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| 権利 | ||||||||||||
| 権利情報 | http://www.ttp.net/1013-9826.html | |||||||||||
| 権利 | ||||||||||||
| 権利情報 | Trans Tech Publications, T. Ohno, M. Fujimoto, H. Suzuki, Key Engineering Materials, 301, 2006, 41-44. | |||||||||||
| フォーマット | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||
| 出版者 | Trans Tech Publications | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 値 | author | |||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||||||||
