WEKO3
アイテム
IVa族金属系材料の適用による銅配線技術の熱的安定性向上のための基礎的研究
https://doi.org/10.11501/3175314
https://doi.org/10.11501/3175314778e8baf-fbda-4cb4-b6ef-c5204efaf843
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
00001331668吉本健一.pdf (7.5 MB)
|
|
| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2012-05-22 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | IVa族金属系材料の適用による銅配線技術の熱的安定性向上のための基礎的研究 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | ja | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | IVa族 | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | ja | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 配線技術 | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | ja | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 金属系 | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | ja | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 材料 | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | ja | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 銅 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
| タイプ | doctoral thesis | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.11501/3175314 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
| 著者 |
吉本, 健一
× 吉本, 健一 |
|||||
| 書誌情報 |
発行日 2000-09-20 |
|||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 値 | ETD | |||||
| 学位名 | ||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関名 | 北見工業大学 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 10106乙第2号 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2000-09-20 | |||||
