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アイテム / 反応性スパッタリング法による導電性Rh酸化物薄膜の作成とその物性 / 8663755-0
8663755-0
ファイル | ライセンス |
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公開日 | 2010-03-10 | |||||
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ファイル名 | 8663755-0.pdf | |||||
本文URL | https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/record/7446/files/8663755-0.pdf | |||||
ラベル | 反応性スパッタリング法による導電性Rh酸化物薄膜の作成とその物性 | |||||
オブジェクトタイプ | fulltext | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 449.0 kB |
Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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