ログイン
言語:

WEKO3

  • トップ
  • ランキング
To
lat lon distance
To

Field does not validate



インデックスリンク

インデックスツリー

メールアドレスを入力してください。

WEKO

One fine body…

WEKO

One fine body…

アイテム

  1. 学術雑誌論文
  2. 洋雑誌

Orientation of metal films deposited by sputtering using Ar/N_2 gas mixtures

https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/6899
https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/records/6899
ed6899fc-b4e0-441c-8031-c7839c7ffe5a
名前 / ファイル ライセンス アクション
4636.pdf 4636.pdf (218.4 kB)
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2007-04-19
タイトル
タイトル Orientation of metal films deposited by sputtering using Ar/N_2 gas mixtures
言語 en
言語
言語 eng
資源タイプ
資源 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
タイプ journal article
アクセス権
アクセス権 open access
アクセス権URI http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
著者 Kawamura, Midori

× Kawamura, Midori

en Kawamura, Midori

Search repository
Abe, Yoshio

× Abe, Yoshio

en Abe, Yoshio

Search repository
Sasaki, Katsutaka

× Sasaki, Katsutaka

en Sasaki, Katsutaka

Search repository
著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 44880
識別子Scheme KAKEN - 研究者検索
識別子URI https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070261401
識別子 70261401
姓名 川村, みどり
言語 ja
姓 川村
言語 ja
名 みどり
言語 ja
識別子Scheme ISNI
識別子URI https://www.isni.org/isni/
著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 44879
識別子Scheme KAKEN
識別子URI https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020261399
識別子 20261399
姓名 阿部, 良夫
言語 ja
著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 34897
姓名 佐々木, 克孝
言語 ja
抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 The influence of adding N_2 to the sputtering gas on the crystal orientation of metal films was investigated. We observed a crystal orientation change of Ni films from (111) to (100) upon the addition of N_2 into the sputtering gas. The increase of substrate temperature resulted in higher degree of orientation of Ni films. Applying a similar deposition condition, Ag and Cu films were also deposited. However, no change was observed for Ag films. Cu films deposited at room temperature showed orientation change but the crystallinity became poor due to the incorporation of nitrogen. It is considered that the difference in the influence of N_2 addition is a result of the strength of interaction between nitrogen and metals. We must determine the suitable deposition conditions for the orientation change.
書誌情報 Thin Solid Films

巻 469-470, p. 491-494, 発行日 2004-12
DOI
識別子タイプ DOI
関連識別子 http://doi.org/10.1016/j.tsf.2004.06.175
権利
権利情報 http://www.sciencedirect.com/science/journal/00406090
権利
権利情報 Elsevier B.V., Midori Kawamura, Yoshio Abe and Katsutaka Sasaki, Thin Solid Films, 469-470, 2004, 491-494.
フォーマット
内容記述タイプ Other
内容記述 application/pdf
出版者
出版者 Elsevier
言語 en
著者版フラグ
言語 en
値 author
出版タイプ
出版タイプ AM
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa
戻る
0
views
See details
Views

Versions

Ver.1 2021-03-01 06:24:05.771224
Show All versions

Share

Mendeley Twitter Facebook Print Addthis

Cite as

エクスポート

OAI-PMH
  • OAI-PMH JPCOAR 2.0
  • OAI-PMH JPCOAR 1.0
  • OAI-PMH DublinCore
  • OAI-PMH DDI
Other Formats
  • JSON
  • BIBTEX

Confirm


Powered by WEKO3


Powered by WEKO3