WEKO3
アイテム / Effects of total gas flow rate and sputtering power on the critical condition for target mode transition in Al?O2 reactive sputtering / Vacuum_84_629_Chiba
Vacuum_84_629_Chiba
| ファイル | ライセンス |
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 Vacuum_84_629_Chiba.pdf (325.8 kB)
sha256
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| 公開日 | 2011-02-03 | |||||
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| ファイル名 | Vacuum_84_629_Chiba.pdf | |||||
| 本文URL | https://kitami-it.repo.nii.ac.jp/record/7495/files/Vacuum_84_629_Chiba.pdf | |||||
| ラベル | Vacuum_84_629_Chiba.pdf | |||||
| フォーマット | application/pdf | |||||
| サイズ | 325.8 kB | |||||
| Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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