@techreport{oai:kitami-it.repo.nii.ac.jp:00007451, author = {佐々木, 克孝 and 阿部, 良夫 and 川村, みどり and 山根, 美佐雄 and 新海, 聡子 and Sasaki, Katsutaka and Abe, Yoshio and Kawamura, Midori and Yamane, Misao and Shinkai, Satoko}, month = {Jun}, note = {application/pdf, 研究代表者 佐々木 克孝 // 科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書 // 平成13-14年度 // 研究課題番号:13650329 // 資料ID:00008668527}, title = {タンタル系固溶体合金の陽極酸化膜による薄膜コンデンサの作製とその信頼性の評価}, year = {2003} }