@techreport{oai:kitami-it.repo.nii.ac.jp:00007450, author = {佐々木, 克孝 and 白重, 道弘 and 阿部, 良夫 and 土橋, 剛 and 野矢, 厚 and Sasaki, Katsutaka and Shirashige, Michihiro and Abe, Yoshio and Dobashi, Tsuyoshi and Noya, Atsushi}, month = {Mar}, note = {application/pdf, 研究代表者 佐々木 克孝 // 科学研究費補助金(基盤研究(B)(1))研究成果報告 // 平成7年度 // 研究課題番号:06555087 // 資料ID:00008626996}, title = {窒化タンタル陽極酸化膜による耐熱性に優れた薄膜コンデンサの作製}, year = {1996} }