@techreport{oai:kitami-it.repo.nii.ac.jp:00007447, author = {阿部, 良夫 and 佐々木, 克孝 and 川村, みどり and Abe, Yoshio and Sasaki, Katsutaka and Kawamura, Midori}, month = {Mar}, note = {application/pdf, 研究代表者 阿部 良夫 // 科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書 // 平成15-16年度 // 研究課題番号:15560268 // 資料ID:00008669768}, title = {サーファクタントを用いた貴金属スパッタ薄膜の構造制御}, year = {2005} }