@article{oai:kitami-it.repo.nii.ac.jp:00007413,
 author = {稲田, 晴久 and 山根, 美佐雄 and 佐々木, 克孝 and 阿部, 良夫 and 川村, みどり and 柳沢, 英人},
 issue = {10},
 journal = {電子情報通信学会論文誌},
 month = {Oct},
 note = {陽極酸化膜を用いて薄膜キャパシタを作製する際，弁金属からなる化学量論的で低抵抗な金属間化合物を適用することで，高耐熱で高信頼性の陽極酸化膜キャパシタが実現できるものと期待される。そこでZrとAlの組合せに着目して，熱的に安定で化学量論的なAl3Zr金属間化合物の陽極酸化膜キャパシタを作製し，キャパシタ特性や周波数特性及び漏れ電流特性を，酸化膜厚の低減効果と耐熱性の関連において検討した。その結果，本研究で用いたAl3Zr陽極酸化膜は，低損失，高耐熱でかつ酸化膜厚の薄層化が可能であり，高信頼性薄膜キャパシタ用の誘電体材料として極めて有望なことがわかった。したがって，弁金属の組合せによる化学量論的な金属間化合物を陽極酸化膜キャパシタの原材料とする着想は，薄膜キャパシタを作製する上で，有用な材料設計指針といえる。, Copyright (c) by IEICE 
許諾番号：09RC0078
IEICE Transactions Online :
http://search.ieice.org/index.html, application/pdf},
 pages = {543--550},
 title = {Al3Zr金属間化合物の陽極酸化膜とそれを応用した高信頼性薄膜キャパシタの作製},
 volume = {J82-C-II},
 year = {1999}
}