2024-03-28T22:41:13Z
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oai:kitami-it.repo.nii.ac.jp:00007412
2022-12-13T02:22:58Z
1:86
低化成電圧で作製したAl3Hf陽極酸化膜キャパシタの熱劣化機構
Thermal Degradation Mechanism of Al3Hf Anodized Thin Film Capacitors Prepared at Low Anodization Voltage
尾関, 雅彦
山根, 美佐雄
佐々木, 克孝
阿部, 良夫
柳沢, 英人
川村, みどり
open access
Al3Hf陽極酸化膜/高信頼性薄膜キャパシタ
高信頼性薄膜キャパシタ/高耐熱性
高耐熱性
オージェ電子分光分析
Al3Hf金属間化合物
30V化成したAl3Hf陽極酸化膜キャパシタの,熱劣化の原因をオージェ電子分光分析によって検討した。その結果,Al上部電極/陽極酸化膜界面が崩壊することにより,金属状態のAlが陽極酸化膜中でわずかにつながった状態になるために,キャパシタが短絡することがわかった。
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2000-07
jpn
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電子情報通信学会論文誌
J83-C
7
663
665
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2016-11-22